لنزهای F-Theta معمولاً همراه با آینههای اسکن گالوانومتر در سیستمهای حکاکی، برش و علامتگذاری لیزری استفاده میشوند. معمولاً اعوجاج F-Theta لنز کمتر از ۱٪ نگه داشته میشود تا بتواند نقطه دقیقی را در میدان مسطح روی صفحه تصویر ایجاد کند.
تحمل قطر: +0/-0.13 میلیمتر
تحمل ضخامت: ±0.25 میلیمتر
تحمل فاصله کانونی: ±2٪
تغییر ضخامت لبه (ETV): ≤3 دقیقه قوسی
دیافراگم شفاف: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
کیفیت سطح: 40-20 SD
پوشش AR: R <0.2٪ در هر سطح @ 10.6μ